纯水机-三达纯化水机

一、超纯水机设计基础

1.1本方案涉及的流程及设备是为了满足：贵公司生产工艺用水项目，要求如下：

1.1.1产水用途：半导体用纯化用水

1.1.2系统总进水量：预处理：16m³/hr

1.1.3系统出力： 一级RO纯水处理：8m³/hr；回收率：50%；

二级RO纯水处理：6m³/hr；回收率：60%；

40%的浓水回流至一级RO纯水系统

EDI超纯水处理：5m³/hr；回收率：90%；

1.1.4终端产水水质：电阻率：≥18MΩ.CM（采用氮封装置进行保存）

1.1.5运行方式：自动运行（并具备手动操作功能）。

1.1.6供水方式：连续产出（24小时运行）。

1.2本方案主要依据如下：

1.2.1原水水源：自来水

1.2.2原水设计温度： 25℃

1.2.3原水水质分析：用户提供的原水水样（水质分析报告见附件）。

1.2.4设计界线：原水箱装置进口至成品水箱出口（详见控制点的工艺流程图）。

1.2.5其他涉及的设计基础条件将在技术讨论中确定。

1.3系统对外界要求：

1.3.1进水管：进水管送至原水箱装置入口。

1.3.2供电缆：根据我方提出的容量，由用户自己负责。

1.3.3出水管：终端滤器产水出口（详见带控制点的工艺流程图）。

1.3.4药品：调试过程所用的化学试剂消耗品由用户提供。

1.3.5废水处理：排至厂房内地沟

原水（DN40）→进水电动阀→原水箱→原水泵→砂滤器→炭滤器→阻垢系统→保安过滤器→ 一级高压泵→一级RO膜组8.0吨/H→二级高压泵→PH调节装置→二级RO膜组5吨/H→EDI泵→EDI系统5吨/H→EDI纯水箱（氮封）→纯水泵→用水管道入口（DN25）→ 分配系统 →用水点1、2→EDI纯水箱